LTPS有两种不同的含义:一种是低温多晶硅薄膜晶体管技术(Low Temperature Poly-silicon),这是液晶面板制造工艺的一种;另一种是与GaN结合的硅基大功率薄膜晶体管半导体技术。
它利用物理气相沉积(PVD)手段实现半导体薄膜晶体管制造过程的技术革新,主要制造功率器件和电源管理IC等半导体元器件。
该技术实现了高功率电路的低成本制造,可以简化集成电路制造工艺。
因此,其具体含义需根据上下文来判断。
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